证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现芯源微（688037）新取得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆上厚胶边际的去除办法”，专利申请号为CN7.8，授权日为2025年1月21日。

  专利摘要：本发明揭露了一种晶圆上厚胶边际的去除办法，归于半导体光刻技能领域。该办法针对晶圆上厚胶(7μm?20μm)边际进行去除，首要经过化学方法减薄晶圆边际区域胶膜厚度，再用边际曝光的方式进行完全去除，与现存技能比较，缩短了厚胶边际光刻胶去除的时刻，经过调整各项工艺参数，在确保边际去除效果的前提下提高了产能，并减少了化学边际去除液的用量及边际曝光的时刻，起到降本增产的效果。

  今年以来芯源微新取得专利授权3个，较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研制方面投入了1.17亿元，同比增52%。

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  证券之星估值剖析提示芯源微盈余才能平平，未来营收成长性较差。归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

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